На конференции ЦИПР 2024 заместитель министра промышленности и торговли РФ Василий Шпак сообщил ТАСС, что создан первый российский литографический сканер. Он уже проходит испытания в Зеленограде.
Новое оборудование позволит выпускать чипы с технологическими нормами до 350 нм. Такая литография востребована в автопроме, энергетике и связи.
«Первый отечественный литограф мы собрали, сделали. Он сейчас проходит уже испытания в составе технологической линейки в Зеленограде», — сказал замминистра.
Мировых производителей литографических сканеров не так много. В этой области доминирует голландская компания ASML, с производственными подразделениями в Нидерландах, Германии, США и других странах. Японские компании Canon и Nikon также производят литографическое оборудование, но уже давно не входят в число лидеров. Китай активно наращивает производство сканеров и сопутствующего оборудования, и хотя полной информации о них нет, похоже, что они достигли значительных успехов.
Подробности о российском сканере пока отсутствуют. Было несколько проектов, включая литографию с использованием синхротронного излучения. Однако данный проект, который планируется возродить на острове Русский (Владивосток) к 2026 году, не имеет отношения к нынешним испытаниям.
Читать далее:
Спутниковые наблюдения подсказали, как египтяне могли построить пирамиды
Ледник «Судного дня» оказался более уязвимым, чем считали ученые
Посмотрите на фото Камчатки из космоса
Обложка: CC0 Всеобщее достояние